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Kupfertechnologie spielt eine zentrale Rolle bei der Herstellung moderner Mikroprozessoren. Die Metallisierung von Leiterbahnen auf strukturierten Silizium-Wafern erfolgt heutzuage über eine elektrochemische Kupferabscheidung, die durch den Einsatz verschiedenster organischer und anorganischer Additive gesteuert wird. Dieser Beitrag soll aufzeigen, welche Bereiche der modernen Chemie einen wesentlichen Beitrag zur Entwicklung moderner Mikroprozessoren leisten.
